高聚物材料加工工藝：是以高聚物材料為基片加工微流控芯片的方法主要有:模塑法、熱壓法、LIGA技術、激光刻蝕法和軟光刻等。模塑法是先利用半導體/MEMS光刻和蝕刻的方法制作出通道部分突起的陽模，然后在陽模上澆注液體的高分子材料，將固化后的高分子材料與陽模剝離后就得到了具有微結(jié)構(gòu)的基片，之后與蓋片(多為玻璃)封接后就制得高聚物微流控芯片。這一方法簡單易行，不需要高技術設備，是大量生產(chǎn)廉價芯片的方法。熱壓法也需要事先獲得適當?shù)年柲?。完?PDMS 芯片產(chǎn)線覆蓋來料加工、生產(chǎn)、質(zhì)檢，支持高標準批量交付。采用MEMS加工的微流控芯片圖片

微米級尺度微流控芯片的精密加工與應用：在0.5-5μm微米級尺度微流控芯片加工領域，公司依托MEMS光刻、深硅刻蝕及納米壓印等技術，實現(xiàn)亞微米級精度的微流道、微孔陣列及三維結(jié)構(gòu)制造。電鏡下可見的精細流道網(wǎng)絡，其寬度誤差可控制在±50nm以內(nèi)，適用于單分子檢測、液滴生成等超高精度場景。例如，在單分子免疫檢測芯片中，微米級微孔陣列可實現(xiàn)單個生物分子的捕獲與熒光信號放大，檢測靈敏度較傳統(tǒng)方法提升10倍以上。該尺度芯片的加工難點在于材料刻蝕均勻性與表面粗糙度控制，公司通過干濕結(jié)合刻蝕工藝與表面化學修飾技術，解決了高深寬比結(jié)構(gòu)（如10:1以上）的加工瓶頸，成功應用于外泌體分選、循環(huán)腫瘤細胞捕獲等前沿生物醫(yī)學領域，為精細醫(yī)療提供器件支撐。青海微流控芯片原料單分子級 PDMS 芯片產(chǎn)線通過超凈加工，提升檢測靈敏度至單分子級別。

安捷倫已有一些儀器使用趨向于具有更多可用性方面的經(jīng)驗，并將這些經(jīng)驗應用到了微流體技術開發(fā)上。微流體和生物傳感器的項目經(jīng)理Kevin Killeen博士在接受采訪時說，安捷倫的目標是為終端使用者解除負擔，“由適宜的儀器產(chǎn)品組裝成的系統(tǒng)可以讓非專業(yè)人士操縱專業(yè)設備”。微流體技術也需要適時表現(xiàn)出其自身的實用性和可靠性，例如，納米級電噴霧質(zhì)譜分析（nano-electrospray MS）不必考慮其頂端的閉合及邊帶的加寬，Killeen補充道：“對于生物學家來說，微流控技術的價值就在于此。”

微流控芯片在石英和玻璃的加工中，常常利用不同化學方法對其表面改性，然后可以使用光刻和蝕刻技術將微通道等微結(jié)構(gòu)加工在上面。玻璃材料的加工步驟與硅材料加工稍有差異，主要步驟有:1)在玻璃基片表面鍍一層 Cr，再用甩膠機均勻的覆蓋一層光刻膠；2)利用光刻掩模遮擋，用紫外光照射，光刻膠發(fā)生化學反應；3)用顯影法去掉已曝光的光膠，用化學腐蝕的方法在鉻層上腐蝕出與掩模上平面二維圖形一致的圖案；4)用適當?shù)目涛g劑在基片上刻蝕通道；5)刻蝕結(jié)束后，除去光刻膠，打孔后和玻璃蓋片鍵合。標準光刻和濕法刻蝕需要昂貴的儀器和超凈的工作環(huán)境，無法實現(xiàn)快速批量生產(chǎn)。微米級微流控芯片通過電鏡觀測確保結(jié)構(gòu)精度，適用于液滴分散與單分子分析。

心臟組織微流控芯片（HoC）是一種先進的OoC，它模仿了服用劑型或特定藥物分子后人類心臟的整體生理學。使用該芯片已經(jīng)觀察到一些不良反應。Mathur等人在2015年證明了動物試驗不足以估計測試藥物分子相對于人體的確切藥代動力學和藥效學。為此，微流控芯片技術在心血管疾病研究，心血管相關藥物開發(fā)，心臟毒性分析以及心臟組織再生研究中起著至關重要的作用。Sidorov等人于2016年創(chuàng)建了一個I-wired HoC。他們檢測到心肌收縮，這是通過倒置光學顯微鏡測量的。此外，工程化的3D心臟組織構(gòu)建體（ECTC）現(xiàn)在能夠在正常和患病條件下復制心臟組織的復雜生理學。圖1C顯示了心臟組織微流控芯片的示意圖，其中上層由心臟上皮細胞組成，下層由心臟內(nèi)皮細胞組成。兩層都被多孔膜隔開。它還包括有助于抽血的真空室。微流控技術能夠把樣本檢測整個過程集中在幾厘米的芯片上。寧夏微流控芯片共同合作

梯度涂層設計實現(xiàn)微流控芯片內(nèi)細胞定向遷移，用于一些研究。采用MEMS加工的微流控芯片圖片

微流控芯片的未來發(fā)展與公司技術儲備：面對微流控技術向集成化、智能化發(fā)展的趨勢，公司持續(xù)投入三維多層流道加工、芯片與微納傳感器/執(zhí)行器的異質(zhì)集成，以及生物相容性材料創(chuàng)新。在技術儲備方面，已突破10μm以下尺度的納米流道加工（結(jié)合電子束光刻與納米壓?。?，為單分子DNA測序芯片奠定基礎；開發(fā)了基于形狀記憶合金的微閥驅(qū)動技術，實現(xiàn)芯片內(nèi)流體的主動控制；儲備了可降解聚合物（如聚乳酸-羥基乙酸共聚物，PLGA）微流控芯片工藝，適用于體內(nèi)植入式檢測設備。未來，公司將聚焦“芯片實驗室”全集成解決方案，推動微流控技術在個性化醫(yī)療、環(huán)境監(jiān)測、食品安全等領域的深度應用，通過持續(xù)創(chuàng)新保持在微納加工與生物傳感芯片領域的技術地位。采用MEMS加工的微流控芯片圖片