酷爾森環保科技的干冰清洗為芯片制造業提供了一種不可替代的、先進的清潔解決方案,尤其在高價值、高精度的半導體制造設備的維護保養方面優勢突出。其無殘留、非研磨、干燥、可在線操作和環保的特性,完美契合了半導體行業對潔凈度、生產效率和環境友好性的嚴苛要求。隨著技術的不斷進步(如更精密的顆粒控制、更智能的自動化系統、更好的微粒回收技術),干冰清洗在半導體制造領域的應用范圍和重要性將持續提升,成為維持前列芯片制造良率和設備穩定運行的關鍵技術之一。封裝與測試環節:模具、封裝設備部件: 清潔封裝設備(如鍵合機、塑封機)模具表面、頂針、傳送帶等部件上的溢料、脫模劑殘留、環氧樹脂等。測試插座、探針卡: 去除探針卡、測試插座接觸點上的氧化物、有機物殘留、助焊劑殘留等,確保良好的電接觸。需要極其精細的控制以避免損壞精密探針。PCB板/基板預處理: 在鍵合或組裝前,清潔PCB或基板表面的氧化物、指紋、油脂等輕微污染物。工具與治具清潔:晶圓載具: 清潔用于傳輸和存儲晶圓的卡匣、FOUP/FOSB門、內部表面上的微粒、有機物殘留和靜電吸附的灰塵。通過提升清潔效率、保障產品良率并減少停機時間,為企業創造長期的經濟效益。江西德國原裝干冰清洗賣價
橡膠模具清洗去除硫化殘留物:橡膠模具在硫化成型后,型腔表面會殘留橡膠碎屑、硫化劑積垢等,這些物質若不及時清理,會導致產品表面出現瑕疵(如缺料、毛刺)。酷爾森環保科技(上海)有限公司干冰清洗可高效剝離此類殘留物,且不會對模具的排氣槽、花紋等精細結構造成損傷,保障橡膠產品的外觀質量。4. 鍛造模具清洗去除氧化皮與油污:鍛造模具在高溫鍛造過程中,表面易附著金屬氧化皮、潤滑劑殘留、鐵屑等。干冰清洗可通過低溫沖擊使氧化皮脆化脫落,同時去除油污,避免傳統打磨導致的模具尺寸磨損,延長模具使用壽命。5. 模具維護與檢修前清潔在模具定期檢修、拋光或涂層修復前,干冰清洗可徹底去除表面污垢,確保后續檢測(如裂紋探傷)的準確性,同時為修復工序(如補焊、鍍層)提供潔凈的表面基礎,提升修復效果。江西德國原裝干冰清洗賣價酷爾森雪花清洗機采用液態二氧化碳作為清洗介質,通過噴槍與壓縮空氣混合,生成微米級干冰雪花顆粒。

潔凈室環境與管道清潔潔凈室地面、墻面:去除表面的微塵(≥0.5μm 顆粒需控制在每立方英尺≤1 個),干冰清洗無二次揚塵(CO?氣體可帶走粉塵),符合潔凈室 “零微粒擴散” 要求。工藝管道(如高純氣體管道、真空管道):去除管道內的氧化層、焊渣殘留,避免氣體輸送時污染物脫落污染晶圓。酷爾森icestorm干冰清洗在半導體行業的**優勢無殘留污染:干冰(固態 CO?)升華后變為氣體,無液體、固體殘留,徹底避免傳統化學清洗(如 HF、SC1/SC2 洗液)帶來的離子污染(Na?、K?等金屬離子會導致芯片漏電)。無損保護精密部件:通過參數化控制(顆粒大小 3μm-5mm、壓力 0.05-0.8MPa),可適配從納米級光罩到毫米級模具的清潔需求,避免機械劃傷或化學腐蝕(如鋁焊盤耐腐蝕性差,無法用酸性清洗劑)。適配 “惰性環境” 需求:CO?是惰性氣體,不與半導體材料(硅、金屬、陶瓷)反應,尤其適合光刻、沉積等 “禁化學物質” 的工藝環節。提升生產效率:支持在線清潔(如刻蝕腔體可在工藝間隙清潔,無需停機拆解),傳統腔體清洗需 4-8 小時,干冰清洗可縮短至 30 分鐘內,設備稼動率提升 20% 以上。
干冰清洗作用:采用超細干冰顆粒(1-3μm) 配合極低壓力(0.05-0.2MPa) 噴射,利用干冰的低溫(-78.5℃)使表面污染物脆化,同時通過壓縮空氣的動能剝離顆粒,且干冰升華后*產生 CO?氣體(惰性,不與光罩材料反應),無任何殘留。無需接觸光罩表面,避免機械劃傷;無水分引入,適配光罩對 “***干燥” 的要求(水分可能導致表面氧化或殘留水漬)。2. 晶圓表面預處理與中間清潔清潔對象:未加工晶圓(裸片)、沉積 / 刻蝕后的晶圓表面。污染問題:裸片表面可能殘留切割后的硅粉、金屬雜質(如 Fe、Cu),影響后續氧化層(SiO?)生長的均勻性;沉積(CVD/PVD)后,晶圓表面可能附著未反應的靶材顆粒(如 Al、Cu);刻蝕(等離子刻蝕)后可能殘留聚合物殘渣(如氟碳聚合物),若未去除會導致后續薄膜層間結合不良。酷爾森icestorm干冰清洗作用:針對裸片:去除表面微米級硅粉和金屬顆粒,且不損傷晶圓表面的原子級平整度(Ra≤0.1nm);針對刻蝕后殘留:利用干冰低溫使聚合物殘渣脆化(聚合物在低溫下硬度提升 3-5 倍),通過精細噴射壓力(0.1-0.3MPa)剝離,避免傳統等離子清洗可能導致的晶圓表面刻蝕過度。酷爾森清洗后干冰直接升華為二氧化碳氣體,無二次廢物產生,簡化了清理流程。

清潔各種高功率光纖連接器和其他組件光學元件清潔、光學涂層制備/清潔光電傳感器和醫療設備清潔半導體和生物醫學組件表面清潔。應用場景:汽車涂裝線,化妝品包材涂裝線,半導體涂裝線等。*系統主要由液態CO2儲罐,增壓設備,耐高壓耐低溫管路,雪花清洗控制系統,機器人(往復機),噴嘴模塊等組成。*根據客戶產品清洗需求不同,酷爾森coulson雪花清洗系統噴嘴模塊數量可分單噴嘴模塊和多噴嘴模塊,以適應不同產品形狀和不同節拍的需求。*獨特的噴嘴設計,使設備運行不堵塞、不結露、清洗能力強,運行穩定無間隔等特點,特別適合汽車零部件,化妝品包材等產品的表面清潔。相較于傳統干冰顆粒清洗,雪花清洗技術省去了制冰環節,能耗和設備初始投資更低。湖北本地干冰清洗銷售
這個過程通過熱震沖擊和"微型爆破"效應,破壞污垢與基體的結合力,從而將污垢剝離。江西德國原裝干冰清洗賣價
酷爾森環保科技(上海)有限公司干冰清洗技術要點與挑戰工藝參數精密控制:壓力: 通常使用較低壓力(如 2-10 bar),遠低于常規工業干冰清洗,以避免對精密部件造成損傷或導致微粒嵌入軟性材料。干冰顆粒尺寸: 使用非常細小的顆粒(如米粒級或更細),以獲得更溫和、更精細的清潔效果。噴射距離與角度: 需要精確控制噴嘴到目標的距離和噴射角度,優化清潔效率同時**小化潛在影響。流量: 根據污染程度和部件敏感度調節干冰流量。微粒控制:干冰沖擊會將污染物打散成更小的微粒。因此,高效的真空回收系統是必不可少的配套設備,必須能即時、徹底地吸走剝離下來的污染物和升華的CO?氣體,防止二次污染。系統需要高過濾效率(HEPA/ULPA級別)。靜電控制:高速氣流和干冰顆粒撞擊可能產生靜電。在半導體潔凈室環境中,需要考慮靜電消散措施,如使用防靜電噴嘴、接地設備、或引入可控的電離氣流。材料兼容性:雖然對大多數硬質材料安全,但對于非常脆弱的涂層、軟性金屬(如金線)、裸露的精密電路、某些塑料或復合材料,仍需進行嚴格的兼容性測試,確認不會造成損傷(如微凹痕、劃痕、涂層剝離)。江西德國原裝干冰清洗賣價