Table Stable生產的主動式微振動控制系統AVI是一款多功能的主動式防振系統，具有**的防振單元和控制器。

可能有多種變化，例如將其用作電子顯微鏡（SEM）的隔振臺，或與光學平臺結合使用的高性能光學實驗臺。

特點：

?通過主動控制沒有共振點，可以防止低頻范圍的振動。

?安裝時不需要參數調整，安裝后可以立即使用。-由于不使用空氣彈簧，因此不需要空氣彈簧。

?振動狀態一目了然。

（可以目視觀察控制器的每個LED閃爍單元的振動狀態。）

-加速度信號可以從外部輸出。

（通過將BNC連接器連接到示波器，可以看到活動對象正在正常工作。 主動防振臺通過電氣控制，向傳入振動瞬間施加反方向的力，從而消除振動。高精密儀器隔振臺大型半導體設備防震臺應用

LFS-2傳感器測量兩個軸的水平加速度，直至頻率為約0.2Hz 傳感器直接放置在地板上，并用于前饋回路中與標準AVI / LP系統結合使用，可在非常低的情況下提高隔振效果頻率。 LFS-2可以改裝為現有的AVI-LP系統。下表顯示了在AVI / LP上測得的水平隔離度（透射率）有和沒有LFS的系統。

將傳感器連接到AVI /系統？

傳感器LFS-2具有單獨的電源，該電源通過D-Sub25插座連接到LFS-2控制單元。 用D-Sub 25將電源連接到傳感器電纜。

每個AVI元素必須連接到背面的D-Sub15插座之一傳感器的 LFS的實際位置并不重要，但必須放置它在支持AVI單元的同一表面上。將AVI單元的上部D-Sub 15插座連接到傳感器。

TS-C

TS-C系列是緊湊的動態防振系統，可隔離所有六個平移和旋轉振動模式。

這些價格適中的動態振動隔離系統在體積上卻比比較大，**昂貴的無源系統更好地實現了隔離。使用壓電力馬達的慣性反饋不僅可以隔離建筑物的振動，還可以隔離放置在系統本身上的振動源。例如，這意味著即使通過操作員的手施加了力，由系統隔離的精密顯微鏡也將保持靜止。

該系統的固有剛度比1Hz諧振無源隔離器的固有剛度大25倍，可提供出色的方向和位置穩定性。

有源隔離系統的特性通常表現為幾乎沒有低頻共振，這種共振困擾著所有無源隔離系統。

該系統的設計即使在低至2-3

Hz的頻率下也能提供出色的隔離度，在該頻率下，許多建筑物由于繞垂直軸的振蕩而顯示出較大的水平振幅。隔離從大約0.7Hz開始，并迅速增加到至少10Hz以外的至少40 dB。

TS-150安全守則

?只能將系統插入具有單獨接地的插座。 不要斷開此連接通過插座或使用不接地的延長線接地。

?在打開本設備之前，請確保已將其連接到正確的電源電壓。

?請勿卸下任何蓋子或讓任何金屬物體進入設備的任何開口。

?請勿拆卸或嘗試維修系統。 這可能會導致電擊或損壞到系統。

?卸下任何主機蓋之前，請先斷開電源。 請把維修交給合格的人員。

?請勿在有危險的環境中使用。

?請勿在頂板上鉆任何孔。 這會損壞系統。

?如果您懷疑系統有任何不安全之處，請拔下電源插頭并防止可能發生的意外事 故用法。 請與您**近的服務中心聯系。

TS-C系列具有通用輸入，可以連接到100至240 VAC 的任何交流電源。

TS特點：

◎在全部的6個自由度范圍內，從0.7Hz到100Hz，TS系列產品提供優良的主動隔振性能。

◎當儀器裝載時，高度調整會自動進行。

◎即使當負載偏離中心時，自動調平功能也能保持水準。當高重心的儀器被加載時，給予穩定性。

◎通過按下前方的按鈕，系統可以鎖定或者解鎖。鎖定功能可以防止在系統重新加載或傳輸中發生損壞。

◎前方的顯示屏展示了在X,Y和Z方向的實際振動水平。

◎主動隔振也可以通過使用可選的遠程控制箱來從外部啟用或禁用 Herz 防震臺/防振臺是世界上****的防震臺/防振臺系統方案供應商之一。桌面式隔振臺隔振臺推薦產品

使用D-Sub 15M-F電纜將T-Box連接到TS的背面。無需單獨的電源。通過模式開關可以選擇不同的激勵方向。高精密儀器隔振臺大型半導體設備防震臺應用

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·AVI系列振動傳遞率

橫坐標為頻率，縱坐標為傳遞率的數據，在10hz頻率以上時，傳遞率的數據小于0.02，很好地起到了隔振作用。

AVI承載不同重量時不同方向上振動衰減的數據（實驗室實驗數據）

垂直方向上的振動傳遞衰減，在承重時10hz的頻率以上時，比較大可以達到40dB的衰減。隔振效率可以達到99%以上的效果。10Hz以上的頻率正常情況下是30dB到40dB的衰減。

高精密儀器隔振臺大型半導體設備防震臺應用

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