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高精密儀器隔振臺干涉測量應用

來源: 發布時間:2021-08-01

LFS控制單元上的每個D-Sub15插座都有4個對應于AVI元件的開關輸出,這些AVI元件以任意4個矩形方向(即平行或直角)放置,不允許其他方向。

面向LFS傳感器的藍色LED直立。將***個AVI元件連接到后面板上的12個D-Sub15插座中的任何一個。使用筆在位置A和D之間滑動開關。

傳感器的位置:

傳感器可以移動到任何所需位置。它可能位于負載下方或外部,但必須位于支持AVI元件的同一表面上。連接后,傳感器與AVI單元的方向必須保持不變。

支承面剛度:

支承面的剛度很重要。水平傳感器無法區分水平加速度和傾斜。因此,LFS和AVI元件所在的支承面必須盡可能堅硬,以便在附近移動時不會明顯傾斜。傾斜將導致傳感器輸出飽和,隔離將失效。 主動防振臺通過電氣控制,向傳入振動瞬間施加反方向的力,從而消除振動。高精密儀器隔振臺干涉測量應用

AVI400-M

AVI 400-M的基本配置包括兩個緊湊型隔振模塊和一個控制單元,比較大負載為800公斤。通過增加緊湊型單元的數量,可以輕松實現對更高負載的支持。為了使AVI400-M適應用戶特定的應用,可以使用不同長度的緊湊型裝置。


AVI 400-M的隔離始于1,2 Hz,超過10HZ以上迅速增加至35 db

減少低頻諧振可得到比普通的被動空氣阻尼系統更好的性能

AVI 400-M系統固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩定性

AVI 400-M的出色性能包括所有六個方向水平和垂直振動模式

AVI 400-M緊湊型裝置不需要任何大型安裝工具。我們努力提供一種簡單,友好的概念-因此,在裝置上放置沉重的設備(例如SEM)時,避免了任何復雜的過程。


技術指標:

頻率:  1.2-200Hz

負載范圍:  0-800公斤

(單件): 400公斤 芯片隔振臺參數TS-140結合了久經考驗的技術***性與優雅且對用戶友好的設計。

AVI單元和傳感器的方向

隔離單元和LFS傳感器必須正確安裝,這一點很重要取向!LFS控制單元上的每個D-Sub15插座都有4個對應于AVI的開關輸出以任意4個矩形方向(即平行或成直角)放置的元素。不允許其他方向。


為確保連接正確,請按照下列步驟操作:

面向LFS傳感器的藍色LED站立。 將***個AVI元素連接到以下任意一個后面板上的12個D-Sub15插座。用筆滑動開關在位置A和D之間。



所有AVI元素必須連接到LFS單元上的插槽。正確的開關位置對于獲得良好的性能至關重要隔離。



地板上沒有AVI產品加速度的數據。(圖中橫坐標為頻率,縱坐標為加速度)

加上AVI產品開啟隔振功能后,加速度的數據。(圖中橫坐標為頻率,縱坐標為加速度)

Herz

Low Frequency Sensor (LFS-3)低頻感應器

LFS-3性能

LFS-3感應器測試水平和垂直方向加速度3軸的頻率低到0.2Hz. 感應器直接放到地板上和AVI系列產品連在組成一個正向循環可以提高低頻的隔振性能。LFS-3也可以配合已有的AVI系列產品。

如果想要了解更多信息請聯系我們岱美儀器。謝謝! 安置好后只需簡單地調節彈簧即可使用。

AVI 200-M

AVI 200-M的隔離始于1,2 Hz,超過10HZ以上迅速增加至35 db

減少低頻諧振可得到比普通的被動空氣阻尼系統更好的性能

AVI 200-M系統固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩定性

AVI 200-M的出色性能包括所有六個方向水平和垂直振動模式

AVI 200-M隔振模塊不需要任何大型工具即可安裝。我們努力提供一種簡單,友好的概念-避免在安裝出現中比較復雜的過程

技術指標:

頻率: 1,2-200 Hz

負載范圍: 0-400公斤

(單個):  200公斤

如果想要了解更多信息請聯系我們岱美儀器。 LFS-3可以被復裝到現有的AVI/LP系統中。干涉測量隔振臺大型半導體設備防震臺應用

垂直方向上的振動傳遞衰減,在承重時10hz的頻率以上時,比較大可以達到40dB的衰減。高精密儀器隔振臺干涉測量應用

Table Stable生產的主動式微振動控制系統AVI是一款多功能的主動式防振系統,具有**的防振單元和控制器。

可能有多種變化,例如將其用作電子顯微鏡(SEM)的隔振臺,或與光學平臺結合使用的高性能光學實驗臺。


特點:

?通過主動控制沒有共振點,可以防止低頻范圍的振動。

?安裝時不需要參數調整,安裝后可以立即使用。-由于不使用空氣彈簧,因此不需要空氣彈簧。

?振動狀態一目了然。

(可以目視觀察控制器的每個LED閃爍單元的振動狀態。)

-加速度信號可以從外部輸出。

(通過將BNC連接器連接到示波器,可以看到活動對象正在正常工作。 高精密儀器隔振臺干涉測量應用

岱美儀器技術服務(上海)有限公司致力于儀器儀表,是一家其他型公司。公司業務分為磁記錄,半導體,光通訊生產,測試儀器的批發等,目前不斷進行創新和服務改進,為客戶提供良好的產品和服務。公司將不斷增強企業重點競爭力,努力學習行業知識,遵守行業規范,植根于儀器儀表行業的發展。岱美儀器技術服務秉承“客戶為尊、服務為榮、創意為先、技術為實”的經營理念,全力打造公司的重點競爭力。

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