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掩模對準納米壓印用途是什么

來源: 發布時間:2025-03-23

EVG®720自動SmartNIL®UV納米壓印光刻系統自動全視野的UV納米壓印溶液達150毫米,設有EVGs專有SmartNIL®技術EVG720系統利用EVG的創新SmartNIL技術和材料專業知識,能夠大規模制造微米和納米級結構。具有SmartNIL技術的EVG720系統能夠在大面積上印刷小至40nm*的納米結構,具有無人能比的吞吐量,非常適合批量生產下一代微流控和光子器件,例如衍射光學元件(DOEs)。*分辨率取決于過程和模板如果需要詳細的信息,請聯系我們岱美儀器技術服務有限公司。也可以訪問岱美儀器技術服務有限公司的官網,獲得更多信息。EV Group 提供完整的UV 紫外光納米壓印光刻(UV-NIL)產品線。掩模對準納米壓印用途是什么

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EVG®620NT特征:頂部和底部對準能力高精度對準臺自動楔形補償序列電動和程序控制的曝光間隙支持ZUI新的UV-LED技術ZUI小化系統占地面積和設施要求分步流程指導遠程技術支持多用戶概念(無限數量的用戶帳戶和程序,可分配的訪問權限,不同的用戶界面語言)敏捷處理和轉換工具臺式或帶防震花崗巖臺的單機版EVG®620NT附加功能:鍵對準紅外對準SmartNILμ接觸印刷技術數據晶圓直徑(基板尺寸)標準光刻:ZUI大150毫米的碎片柔軟的UV-NIL:ZUI大150毫米的碎片SmartNIL®:在100毫米范圍解析度:≤40nm(分辨率取決于模板和工藝)支持流程:軟UV-NIL&SmartNIL®曝光源:汞光源或紫外線LED光源對準:軟NIL:≤±0.5μmSmartNIL®:≤±3微米自動分離:柔紫外線NIL:不支持;SmartNIL®:支持工作印章制作:柔軟的UV-NIL:外部:SmartNIL®:支持掩模對準納米壓印用途是什么分步重復刻印通常用于高效地制造晶圓級光學器件制造或EVG的Smart NIL工藝所需的母版。

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SmartNIL是行業領仙的NIL技術,可對小于40nm*的極小特征進行圖案化,并可以對各種結構尺寸和形狀進行圖案化。SmartNIL與多用途軟戳技術相結合,可實現無人可比的吞吐量,并具有顯著的擁有成本優勢,同時保留了可擴展性和易于維護的操作。EVG的SmartNIL兌現了納米壓印的長期前景,即納米壓印是一種用于大規模制造微米級和納米級結構的低成本,大批量替代光刻技術。注:分辨率取決于過程和模板如果需要詳細的信息,請聯系岱美儀器技術服務有限公司。

SmartNIL技術簡介SmartNIL是基于紫外線曝光的全域型壓印技術,可提供功能強大的下一代光刻技術,幾乎具有無限的結構尺寸和幾何形狀功能。由于SmartNIL集成了多次使用的軟標記處理功能,因此還可以實現無人能比的吞吐量,并具有顯著的擁有成本的優勢,同時保留了可擴展性和易于維護的操作功能。另外,主模板的壽命延長到與用于光刻的掩模相當的時間。岱美作為EVG在中國區的代理商,歡迎各位聯系我們,探討納米壓印光刻的相關知識。岱美愿意與您共同進步。高 效,強大的SmartNIL工藝提供高圖案保真度,擁有高度均勻圖案層和蕞少殘留層,易于擴展的晶圓尺寸和產量。

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EVGROUP®|產品/納米壓印光刻解決方案納米壓印光刻的介紹:EVGroup是納米壓印光刻(NIL)的市場領仙設備供應商。EVG開拓了這種非常規光刻技術多年,掌握了NIL并已在不斷增長的基板尺寸上實現了批量生產。EVG的專有SmartNIL技術通過多年的研究,開發和現場經驗進行了優化,以解決常規光刻無法滿足的納米圖案要求。SmartNIL可提供低至40nm的出色保形壓印結果。岱美作為EVG在中國區的代理商,歡迎各位聯系我們,探討納米壓印光刻的相關知識。我們愿意與您共同進步。EVG提供不同的整面壓印系統,大面積壓印機,微透鏡成型設備以及用于高 效母版制作的分步重復系統。晶圓納米壓印美元報價

在納米光學器件中,納米壓印可以用于制備納米級的光學結構,用于改善光學器件的性能。掩模對準納米壓印用途是什么

該公司的高科技粘合劑以功能與可靠性聞名于世。根據客戶的專門需求,公司對這些聚合物作出調整,使其具備其它特征。它們極其適合工業環境,在較短的生產周期時間內粘合各種微小的元件。此外,DELO紫外線LED固化設備與點膠閥的可靠度十分杰出。關于德路 德路(DELO)是世界前列的工業粘合劑制造商,總部位于德國慕尼黑附近的Windach。在美國、中國、新加坡及日本均設有子公司。2019財政年,公司的780名員工創造了。該公司產品在全球范圍內廣泛應用于汽車、消費類電子產品與工業電子產品。幾乎每一部智能手機與超過一半的汽車上都使用該公司產品。DELO的客戶包括博世、戴姆勒、華為、歐司朗、西門子以及索尼等。關于EVGroup(EVG)EV集團(EVG)是為生產半導體、微機電系統(MEMS)、化合物半導體、功率器件以及納米技術器件制造提供設備與工藝解決方案的領仙供應商。該公司主要產品包括晶圓鍵合、薄晶圓處理、光刻/納米壓印光刻技術(NIL)與計量設備,,以及涂膠機、清洗機與檢測系統。EV集團創辦于1980年,可為遍及全球的眾多客戶與合作伙伴提供各類服務與支持。掩模對準納米壓印用途是什么

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